第二百三十八章 舌战群儒
老人开口道：“各位尊敬的科学家，上午好，大家时间都很宝贵，我也就长话短说，简单谈一谈本场会议的目的。”
“近年来，我们一直在往半导体产业链进行发展，到了今天也有了一定丰硕的成果，前段时间，在林晓先生的主导下，我们先后在多个技术上都实现了突破，特别是硅晶圆生产技术得到了重大突破，达到了世界一流的程度。”
说到这，他朝林晓点点头，随后继续道：“半导体技术的研究是重中之重，未来我们也需要在这个技术上实现更多的创新。”
“现在，大家可以谈谈自己的看法，谈谈你们各方技术有哪些新的突破，讨论一下我们接下来应该往哪个方向发展。”
随着老人的话说完，在场的人便开始议论起来。
半晌后，华芯国际的专家举起了手，说道：“近期以来，我们在芯片生产工艺上实现了一次关键性的突破，距离12nm制程又近了一步，这一方面我们需要更多的研发投入。”
“我认为，我们在生产工艺上还是要加大投入，毕竟造出我们自己的光刻机仍然还遥遥无期，还不如先想办法怎么将duv光刻机钻研到极限。”
这话一说出来，其他人就不愿意了。
比如电科集团、常春光机所、魔都微电子，这三家都是接到了研发光刻机任务的，华芯国际提倡要大力搞生产工艺，他们当然就不愿意了。
于是这三家公司立马就表示了反对。
“搞不出来就不搞？你也不看看咱们现在因为没有搞这些东西都损失多少了。”
“你说搞生产工艺，也没见你们搞定多少啊？人家台积电别说14nm了，12nm、10nm的工艺都有，不求你们跟上7nm，但好歹也不至于落后这么多代吧？”
……
双方说的话都很不客气，自然而然的，就直接开始吵了起来。
当然，毕竟是这种场合，他们吵起来也都是指责对方在技术发展上的问题。
不过他们吵的时候，又有人表示：“我觉得，我们是不是应该在材料上再下点功夫？”
在场的人还是有不少是生产材料的，听到有人提到这一点，顿时就纷纷附和起来。
“对，材料上应该也需要着重发展！”
会议室中再一次多出了一个声音。
这就是半导体产业链，每一环都紧密相连，每一环之间都有着较大的技术壁垒。
就在这些人争论的时候，忽然有人拍了拍手，众人看去，正是马局长。
对于这位科技局局长，在座的人们都还是有保持着尊敬的态度的，于是乎也都安静了下来，等待他说话。
马高亮则只是笑了笑，然后说道：“大家说的都很有道理，不过大家也知道，咱们想要跟上国外，各个环节也都还相差甚远，现在咱们也就只是在硅晶圆生产这上面来到了世界一流的地位。”
“所以我想，咱们要不要先听听林教授的看法？”
听到这，在场的专家们都安静了下来。
不管如何，光凭林晓最近的这个成就，也值得他们认真对待一下。
于是所有人都将目光看向了坐在前面的林晓。
而林晓对于突然轮到自己讲话感到有些意外，不过，他早就准备着要分享一下他的想法了，所以他丝毫不着急。
身体坐好，他先朝右手边的老人微微一笑，然后重新转头看向了在场的人们，随后道：“我的看法，就是两手都要抓，两手都要硬。”
“当然，这句话用到整个产业链中，就是整条产业链，都要抓牢。”
在场的人顿时都是一愣，
林晓的意思是？
他觉得所有的方向都要发展？
在场的人们都不由摇摇头，他们还以为林晓能说出什么让人眼前一亮的想法呢，结果现在这么说，在所有人看来明显就是那种谁都不想得罪，保持中庸的态度。
不过，林晓真的是这个打算吗？
说完这句话后，他站了起来。
“半导体行业是一个完整的产业链，产业链中的每一个部分都占据着十分重要的作用，而我们既然有我们特殊的体制，我们可以形成一盘棋来进行，那么，我觉得应该组成一个半导体产业联盟，集中调配各方资源，来更好地发展我们的整个产业。”
“而现在，我们的硅晶圆生产已经完成了突破，同时，因为编码器八分结构的出现，我们的精密加工技术也得到了一次突破，而剩下的，就是继续更加深入的去挖掘。”
“在这里，我首先对光刻机所要用到的光学镜片生产技术如何实现突破，进行一个简单的讲述。”
说到这，林晓朝罗刚宪微微一笑，罗刚宪却是一愣，林晓要说他们的光学镜片？
林晓说道：“如何让光学镜片更加精密，无非就是将镜片表面那些凸起的粒子给弄走。”
“我们能够利用激光干涉仪，找到这些凸起的粒子，接下来针对这些凸起粒子的凸起量，我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子，然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来，我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法，罗刚宪便忍不住说道：“这……这应该做不到吧？激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据，我们只能进行统计，但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊！而且，硅原子半径都经到100多皮米了，直径等于两百多皮米，而我们需要的是100皮米以下的级别，如果是离子轰击，直接把表面原子给轰击掉了，留下的可能就是一个一百多皮米的坑，这样还是达不到光刻机镜片的要求！”
林晓说的确实是一个很好的方法，但这是从理论上来说，他作为专业的，心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑，说道：“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊，罗院士。”
“我说的是‘敲平’！”
“我们只需要就算好轰击角，控制住水平和垂直上的分力，我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且，我们所谓的原子半径，其实只是原子轨道半径而已，在受力范围上，它们可不是一个球，用离子束去轰击，也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术，使用的是氩等离子体，在轰击的时候，我们考虑其电荷量，就能够实现了。”
听到这，罗刚宪顿时感到不可思议，这么说的话，似乎真的可行？
但是经过片刻的思考后，微微摇头道：“这做不到吧，这在数学上无法实现！你怎么计算出轰击角？”
林晓却是一笑：“只是一道数学问题而已，我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题？
而已？
他不知道怎么说了，但是看着林晓的样子，他却找不到继续质疑的理由。
似乎，真的可以这么做？
如果他们能够计算出离子束轰击角，似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去？
其实，这就类似于一种离子抛光技术，只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术，他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题，最重要的可不就是数学问题？
想到这，他看着已经走到了椭圆桌另外一边的林晓，站起来说道：“林教授，你说服了我，我们合作吧。”
林晓笑了笑，说道：“当然可以，只不过……”
他看了一眼在场的所有人，说道：“各位，我刚才说了，我们要成立一个联盟，所以，我想和你们所有人一起合作。”
“而你们在技术上遇到的问题，都可以来找我合作研究。”
听到这，在场的人顿时都瞪大了。
林晓这话，是打算把他们所有人背后所代表的机构企业拉到一起？
他甚至还说，技术上遇到了问题，都可以去找他合作？
虽然林晓解决了cmp材料技术，还有硅晶圆提纯技术，甚至还在编码器精度上实现了重大突破，完全可以称之为全能性人才。
但是他们在场的那么多行业，林晓如何做到全能？
有人立马表示了反对：“林教授，你的提议很不错，但是你知道极紫外光光源问题如何解决吗？这是我们想问你的第一个问题。”
林晓一笑：“极紫外光光源，用的无非就是准分子激光照射在锡靶材上，退激产生极紫外光，而我们要做的就是提高其功率。”
“这一点，我们只需要控制锡靶材和准分子激光的功率，实现锡靶材能够更大的接受准分子激光照射率，就能够实现更强的退激效应。”
“关于如何实现锡靶材更高地接受照射率，这一点需要数学计算和实验验证，数学方面的问题，对我来说同样不是问题，所以你们和我合作之后，我们同样也有机会实现突破。”
“另外，还有我们对euv光的采集效率，这一点，只要能够实现我刚才所说的对镜片的更精密加工，我们采集效率完全可以再次增大，进而提高功率。”
听到林晓的回答，那个反对的人又是哑口无言，因为他发现自己居然被林晓说动了。
如果真的能够和林晓合作的话，他们的问题是不是真的能够得到解决？
而这时候，又有人提问了：“林教授，光路系统呢？”
林晓再一次笑道：“光路系统，首先是我们的精密控制领域需要突破，而我相信，现在我们已经有这样的机会了。”
“接下来还是一个数学问题，相信我，只要涉及到了数学问题，都不是问题。”
在场的人都不知道说什么了。
数学问题？
他们的这些问题，除了材料问题、精密加工问题，剩下的可不就是数学问题吗？
许多人都不知道再去怎么问了。
当然，那些研究材料的人就有话说了：“我们光刻胶呢？”
林晓说道：“cmp抛光材料，我花了两个月的时间就给解决了，其他的材料虽然我不敢保证，但是说不定我运气好之下，就也解决了呢？”
“啊这……”
“林教授，还有我们……”
……
林晓一个个的进行着回答，同时也一个个地将他们说服。
就如同舌战群儒一般。
成立这样一个联盟的想法，他早就有了。
而如今，他在半导体上的成就，让他有了这样的荣誉去提起这件事情。
今天这场会议，正好给了他提出这个想法的机会。
就这样，在场的人在他的话语中，脸上都露出了意动的表情。
似乎都被他说服了。
见到这一幕，林晓宋目光认真地道：“我不是想要抢各位的东西，只是觉得我们有必要建立起这样的一个联盟，更好地调动我们资源。”
“朋友们，我们距离国外还有差距，合作是更加应该的。”
“在这里，我不希望和大家争论。”
“同时，也请大家相信我，我也有这个信心。”
会议室中安静了片刻。
光电所所长，罗刚宪院士说道：“我同意。”
有了人开头，原本还摇摆不定的其他人，也纷纷说道：“我们也同意。”
“同意。”
这件事情，对他们也没有利益上的影响，只是嫌麻烦，不认为加入之后对他们有什么意义。
但现在，林晓已然说服了他们。
而见到这些人居然真的都同意了，马高亮忍不住看向林晓，目光中多出了佩服。
能够说服这么多人的，恐怕也只有林晓有这个能力。
而那位一直没有说话的老人，看着林晓的目光中也多出了许多的欣赏。
而后，他说道：“很好，各位能够实现合作，我很高兴，那么，我就作为一个见证者，为你们的这个联盟起个名吧。”
听到老人的话，林晓笑道：“这当然最好了。”
老人笑道：“那就叫华芯盟好了，简单直接一点。”
“另外，林教授，在之后如果有什么需要，联系高亮就行，我让他全力配合你们。”
“好！”
林晓重重点头。
……
“近年来，我们一直在往半导体产业链进行发展，到了今天也有了一定丰硕的成果，前段时间，在林晓先生的主导下，我们先后在多个技术上都实现了突破，特别是硅晶圆生产技术得到了重大突破，达到了世界一流的程度。”
说到这，他朝林晓点点头，随后继续道：“半导体技术的研究是重中之重，未来我们也需要在这个技术上实现更多的创新。”
“现在，大家可以谈谈自己的看法，谈谈你们各方技术有哪些新的突破，讨论一下我们接下来应该往哪个方向发展。”
随着老人的话说完，在场的人便开始议论起来。
半晌后，华芯国际的专家举起了手，说道：“近期以来，我们在芯片生产工艺上实现了一次关键性的突破，距离12nm制程又近了一步，这一方面我们需要更多的研发投入。”
“我认为，我们在生产工艺上还是要加大投入，毕竟造出我们自己的光刻机仍然还遥遥无期，还不如先想办法怎么将duv光刻机钻研到极限。”
这话一说出来，其他人就不愿意了。
比如电科集团、常春光机所、魔都微电子，这三家都是接到了研发光刻机任务的，华芯国际提倡要大力搞生产工艺，他们当然就不愿意了。
于是这三家公司立马就表示了反对。
“搞不出来就不搞？你也不看看咱们现在因为没有搞这些东西都损失多少了。”
“你说搞生产工艺，也没见你们搞定多少啊？人家台积电别说14nm了，12nm、10nm的工艺都有，不求你们跟上7nm，但好歹也不至于落后这么多代吧？”
……
双方说的话都很不客气，自然而然的，就直接开始吵了起来。
当然，毕竟是这种场合，他们吵起来也都是指责对方在技术发展上的问题。
不过他们吵的时候，又有人表示：“我觉得，我们是不是应该在材料上再下点功夫？”
在场的人还是有不少是生产材料的，听到有人提到这一点，顿时就纷纷附和起来。
“对，材料上应该也需要着重发展！”
会议室中再一次多出了一个声音。
这就是半导体产业链，每一环都紧密相连，每一环之间都有着较大的技术壁垒。
就在这些人争论的时候，忽然有人拍了拍手，众人看去，正是马局长。
对于这位科技局局长，在座的人们都还是有保持着尊敬的态度的，于是乎也都安静了下来，等待他说话。
马高亮则只是笑了笑，然后说道：“大家说的都很有道理，不过大家也知道，咱们想要跟上国外，各个环节也都还相差甚远，现在咱们也就只是在硅晶圆生产这上面来到了世界一流的地位。”
“所以我想，咱们要不要先听听林教授的看法？”
听到这，在场的专家们都安静了下来。
不管如何，光凭林晓最近的这个成就，也值得他们认真对待一下。
于是所有人都将目光看向了坐在前面的林晓。
而林晓对于突然轮到自己讲话感到有些意外，不过，他早就准备着要分享一下他的想法了，所以他丝毫不着急。
身体坐好，他先朝右手边的老人微微一笑，然后重新转头看向了在场的人们，随后道：“我的看法，就是两手都要抓，两手都要硬。”
“当然，这句话用到整个产业链中，就是整条产业链，都要抓牢。”
在场的人顿时都是一愣，
林晓的意思是？
他觉得所有的方向都要发展？
在场的人们都不由摇摇头，他们还以为林晓能说出什么让人眼前一亮的想法呢，结果现在这么说，在所有人看来明显就是那种谁都不想得罪，保持中庸的态度。
不过，林晓真的是这个打算吗？
说完这句话后，他站了起来。
“半导体行业是一个完整的产业链，产业链中的每一个部分都占据着十分重要的作用，而我们既然有我们特殊的体制，我们可以形成一盘棋来进行，那么，我觉得应该组成一个半导体产业联盟，集中调配各方资源，来更好地发展我们的整个产业。”
“而现在，我们的硅晶圆生产已经完成了突破，同时，因为编码器八分结构的出现，我们的精密加工技术也得到了一次突破，而剩下的，就是继续更加深入的去挖掘。”
“在这里，我首先对光刻机所要用到的光学镜片生产技术如何实现突破，进行一个简单的讲述。”
说到这，林晓朝罗刚宪微微一笑，罗刚宪却是一愣，林晓要说他们的光学镜片？
林晓说道：“如何让光学镜片更加精密，无非就是将镜片表面那些凸起的粒子给弄走。”
“我们能够利用激光干涉仪，找到这些凸起的粒子，接下来针对这些凸起粒子的凸起量，我们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子，然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来，我们的镜片就能变得无比地平整起来。”
听到林晓的想法，罗刚宪便忍不住说道：“这……这应该做不到吧？激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据，我们只能进行统计，但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊！而且，硅原子半径都经到100多皮米了，直径等于两百多皮米，而我们需要的是100皮米以下的级别，如果是离子轰击，直接把表面原子给轰击掉了，留下的可能就是一个一百多皮米的坑，这样还是达不到光刻机镜片的要求！”
林晓说的确实是一个很好的方法，但这是从理论上来说，他作为专业的，心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑，说道：“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊，罗院士。”
“我说的是‘敲平’！”
“我们只需要就算好轰击角，控制住水平和垂直上的分力，我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且，我们所谓的原子半径，其实只是原子轨道半径而已，在受力范围上，它们可不是一个球，用离子束去轰击，也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术，使用的是氩等离子体，在轰击的时候，我们考虑其电荷量，就能够实现了。”
听到这，罗刚宪顿时感到不可思议，这么说的话，似乎真的可行？
但是经过片刻的思考后，微微摇头道：“这做不到吧，这在数学上无法实现！你怎么计算出轰击角？”
林晓却是一笑：“只是一道数学问题而已，我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题？
而已？
他不知道怎么说了，但是看着林晓的样子，他却找不到继续质疑的理由。
似乎，真的可以这么做？
如果他们能够计算出离子束轰击角，似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去？
其实，这就类似于一种离子抛光技术，只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术，他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题，最重要的可不就是数学问题？
想到这，他看着已经走到了椭圆桌另外一边的林晓，站起来说道：“林教授，你说服了我，我们合作吧。”
林晓笑了笑，说道：“当然可以，只不过……”
他看了一眼在场的所有人，说道：“各位，我刚才说了，我们要成立一个联盟，所以，我想和你们所有人一起合作。”
“而你们在技术上遇到的问题，都可以来找我合作研究。”
听到这，在场的人顿时都瞪大了。
林晓这话，是打算把他们所有人背后所代表的机构企业拉到一起？
他甚至还说，技术上遇到了问题，都可以去找他合作？
虽然林晓解决了cmp材料技术，还有硅晶圆提纯技术，甚至还在编码器精度上实现了重大突破，完全可以称之为全能性人才。
但是他们在场的那么多行业，林晓如何做到全能？
有人立马表示了反对：“林教授，你的提议很不错，但是你知道极紫外光光源问题如何解决吗？这是我们想问你的第一个问题。”
林晓一笑：“极紫外光光源，用的无非就是准分子激光照射在锡靶材上，退激产生极紫外光，而我们要做的就是提高其功率。”
“这一点，我们只需要控制锡靶材和准分子激光的功率，实现锡靶材能够更大的接受准分子激光照射率，就能够实现更强的退激效应。”
“关于如何实现锡靶材更高地接受照射率，这一点需要数学计算和实验验证，数学方面的问题，对我来说同样不是问题，所以你们和我合作之后，我们同样也有机会实现突破。”
“另外，还有我们对euv光的采集效率，这一点，只要能够实现我刚才所说的对镜片的更精密加工，我们采集效率完全可以再次增大，进而提高功率。”
听到林晓的回答，那个反对的人又是哑口无言，因为他发现自己居然被林晓说动了。
如果真的能够和林晓合作的话，他们的问题是不是真的能够得到解决？
而这时候，又有人提问了：“林教授，光路系统呢？”
林晓再一次笑道：“光路系统，首先是我们的精密控制领域需要突破，而我相信，现在我们已经有这样的机会了。”
“接下来还是一个数学问题，相信我，只要涉及到了数学问题，都不是问题。”
在场的人都不知道说什么了。
数学问题？
他们的这些问题，除了材料问题、精密加工问题，剩下的可不就是数学问题吗？
许多人都不知道再去怎么问了。
当然，那些研究材料的人就有话说了：“我们光刻胶呢？”
林晓说道：“cmp抛光材料，我花了两个月的时间就给解决了，其他的材料虽然我不敢保证，但是说不定我运气好之下，就也解决了呢？”
“啊这……”
“林教授，还有我们……”
……
林晓一个个的进行着回答，同时也一个个地将他们说服。
就如同舌战群儒一般。
成立这样一个联盟的想法，他早就有了。
而如今，他在半导体上的成就，让他有了这样的荣誉去提起这件事情。
今天这场会议，正好给了他提出这个想法的机会。
就这样，在场的人在他的话语中，脸上都露出了意动的表情。
似乎都被他说服了。
见到这一幕，林晓宋目光认真地道：“我不是想要抢各位的东西，只是觉得我们有必要建立起这样的一个联盟，更好地调动我们资源。”
“朋友们，我们距离国外还有差距，合作是更加应该的。”
“在这里，我不希望和大家争论。”
“同时，也请大家相信我，我也有这个信心。”
会议室中安静了片刻。
光电所所长，罗刚宪院士说道：“我同意。”
有了人开头，原本还摇摆不定的其他人，也纷纷说道：“我们也同意。”
“同意。”
这件事情，对他们也没有利益上的影响，只是嫌麻烦，不认为加入之后对他们有什么意义。
但现在，林晓已然说服了他们。
而见到这些人居然真的都同意了，马高亮忍不住看向林晓，目光中多出了佩服。
能够说服这么多人的，恐怕也只有林晓有这个能力。
而那位一直没有说话的老人，看着林晓的目光中也多出了许多的欣赏。
而后，他说道：“很好，各位能够实现合作，我很高兴，那么，我就作为一个见证者，为你们的这个联盟起个名吧。”
听到老人的话，林晓笑道：“这当然最好了。”
老人笑道：“那就叫华芯盟好了，简单直接一点。”
“另外，林教授，在之后如果有什么需要，联系高亮就行，我让他全力配合你们。”
“好！”
林晓重重点头。
……